潔凈室定義標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)及維保

潔凈室定義標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)及維保

  潔凈室是指去除一定空間內(nèi)空氣中的顆粒物、有害空氣、細(xì)菌等污染物，以及室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、風(fēng)速和氣流分布、噪聲振動(dòng)和照明、靜電等。 控制在一定的要求范圍內(nèi)，并給予專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的房間，無(wú)塵室又稱(chēng)為無(wú)塵室或無(wú)塵室，無(wú)論外界空氣條件如何變化，室內(nèi)均能保持原有設(shè)定要求的潔凈度， 溫濕度和壓力等性能特征。

  無(wú)塵室最重要的作用是控制產(chǎn)品（如硅片等）接觸的氣氛的潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品在良好的環(huán)境空間內(nèi)生產(chǎn)制造。 我們稱(chēng)這個(gè)空間為潔凈室。 潔凈室主要分為湍流潔凈室、層流潔凈室和復(fù)合潔凈室。

  1、湍流潔凈室：

  空氣從空調(diào)箱通過(guò)潔凈室內(nèi)的風(fēng)管和空氣過(guò)濾器（hepa）進(jìn)入潔凈室，從潔凈室兩側(cè)的隔墻板或高架地板返回空氣。 漩渦狀態(tài)。 這種類(lèi)型使用干潔凈室等級(jí) 1.000-100.000。
  優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，系統(tǒng)建設(shè)成本低，潔凈室擴(kuò)容容易，在一些專(zhuān)用場(chǎng)所可與無(wú)塵工作臺(tái)配套使用，提高潔凈室等級(jí)。 缺點(diǎn)：湍流產(chǎn)生的細(xì)小粉塵顆粒在室內(nèi)空間漂浮時(shí)不易排出，易污染工藝產(chǎn)品。 此外，如果系統(tǒng)關(guān)閉并重新啟動(dòng)，通常需要很長(zhǎng)時(shí)間才能達(dá)到所需的清潔度。

  2、層流潔凈室：

  層流氣流運(yùn)動(dòng)成一條均勻的直線(xiàn)。 空氣通過(guò)過(guò)濾器以100%的覆蓋率進(jìn)入室內(nèi)，通過(guò)活動(dòng)地板或兩側(cè)的隔墻返回空氣。 該型適用于干式無(wú)塵室等級(jí)要求較高的環(huán)境。 一般其潔凈室等級(jí)為class1~100。 其類(lèi)型可分為兩種：

  (1)水平層流式：水平風(fēng)從過(guò)濾器的一個(gè)方向吹出，由對(duì)面墻上的回風(fēng)系統(tǒng)返回，粉塵隨風(fēng)向排出室外，污染一般在 下游側(cè)。

  優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，運(yùn)行后能在短時(shí)間內(nèi)穩(wěn)定。
  缺點(diǎn)：造價(jià)高于湍流式，室內(nèi)空間不易擴(kuò)展。

  (2)垂直層流式：房間的天花板完全覆蓋upa過(guò)濾器，空氣從上到下吹出，以獲得更高的潔凈度。 過(guò)程中或工作人員產(chǎn)生的粉塵可迅速排出室外，不影響其他工作區(qū)域。

  優(yōu)點(diǎn)：易于管理，開(kāi)始運(yùn)行后可在短時(shí)間內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)，不易受運(yùn)行狀態(tài)或操作人員的影響。

  缺點(diǎn):構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過(guò)濾器較麻煩。